半導体製造装置

政府は新たに高性能な半導体製造装置23品目を輸出管理の対象に追加する。軍事転用防止目的で全地域が対象となるが、東京エレクトロンなど日本企業約10社に影響が及ぶ見通しだ。経済産業省によると、対象となるのは洗浄やデポジション（成膜）、アニーリング（熱処理）リソグラフィ（露光）エッチング